“掃描探針顯微鏡漂移測量方法”國際標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布

　　日前，由中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)工程科學(xué)學(xué)院黃文浩教授主持制訂的國際標(biāo)準(zhǔn)“掃描探針顯微鏡漂移測量方法(ISO11039:2012)”已由國際標(biāo)準(zhǔn)化組織正式發(fā)布。

　　自20世紀(jì)80年代掃描探針顯微鏡(Scanning-probe microscopy，SPM)發(fā)明以來，由于其具有原子量級的分辨能力，極大地促進了納米科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，并已逐步形成了一種高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。SPM的工作原理是通過微小探針在樣品表面進行掃描，將探針與樣品表面間的相互作用轉(zhuǎn)換為表面形貌和特性圖像。由于掃描速率較慢，漂移現(xiàn)象在掃描過程中普遍存在，這制約了SPM在納米測量和納米加工方面的進一步應(yīng)用。

　　黃文浩教授近二十年來一直從事納米技術(shù)與精密儀器領(lǐng)域的研制工作。在2006年，他向國際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO/TC201(表面化學(xué)分析技術(shù)委員會)提出了“掃描探針顯微鏡漂移速率測量方法標(biāo)準(zhǔn)”的提案，目的是要將SPM工作時納米/秒的漂移大小和方向測量出來，以規(guī)范這類儀器的使用方法。2007年該提案正式立項，黃文浩教授被指定為該項目工作組的召集人。經(jīng)過四年多的努力，SPM漂移測量方法標(biāo)準(zhǔn)的最終草案于2011年經(jīng)全體成員國投票后順利通過，并于2012年正式發(fā)布。

　　該標(biāo)準(zhǔn)定義了描述SPM在X、Y和Z方向的漂移速率的專業(yè)術(shù)語，規(guī)定了SPM漂移速率的測量方法和測量程序，對儀器的功能和工作環(huán)境以及測量報告內(nèi)容均作了嚴(yán)格要求。該標(biāo)準(zhǔn)為SPM儀器生產(chǎn)廠家制定了漂移速率的有效參數(shù)規(guī)格，并且能幫助用戶了解儀器的穩(wěn)定性，以便設(shè)計有效的實驗。該標(biāo)準(zhǔn)不僅適用于基于SPM測量圖像的漂移速率評價方法，對其它納米級測量儀器穩(wěn)定性的評價也有著重要參考價值。

　　相關(guān)研究工作受到國家自然科學(xué)基金、中科院知識創(chuàng)新工程重要方向性項目和科技部973項目資助。